特許

J-GLOBAL ID：200903085331993876

反応容器

発明者： 川田 敦雄 ,  柳沢 勲 ,  萩原 浩二
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 小島 隆司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-241438
公開番号（公開出願番号）：特開平10-067584
出願日： 1996年08月23日
公開日（公表日）： 1998年03月10日
要約：

【要約】【課題】 耐蝕性及び耐熱衝撃性に優れ、半導体製造分野、特にプラズマCVD反応装置用として好適な反応容器を得る。【解決手段】 熱分解窒化硼素で形成された反応容器本体内壁に窒化アルミニウムを被覆する。

請求項（抜粋）：

熱分解窒化硼素で形成された反応容器本体の内壁に窒化アルミニウムが被覆されてなることを特徴とする反応容器。

IPC (7件)：

C04B 41/87 ,  B01J 19/08 ,  C23C 16/44 ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/205 ,  C30B 25/02 ,  C30B 25/08

FI (7件)：

C04B 41/87 D ,  B01J 19/08 E ,  C23C 16/44 B ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/205 ,  C30B 25/02 P ,  C30B 25/08