インターフェースを有するミクロ構造用の試験ヘッド

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：斉藤武彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-314519
公開番号（公開出願番号）：特開平11-248745
出願日： 1998年11月05日
公開日（公表日）： 1999年09月17日
要約：

【要約】【課題】検査する電気部品の試験点とボード上の接点と接触させる試験ヘッドを提供する。【解決手段】複数個のばね弾性細長接触要素は、それぞれ一端の試験点および他端の接点に接触する対抗端部を有する。複数個の少なくとも2つ好ましくは3つの案内パネルが試験点と接点との間のスペースに位置される。接触要素の各々の第1、第2および第3の案内パネルの個々の第1、第2および第3開口を備え、接触要素の各々の2つの隣接開口が横方向にずらされるので、それらを通過する接触要素は摩擦力で固定保持される。

請求項（抜粋）：

検査される電気部品の少なくとも1つの試験点と、回路の少なくとも1つの接点とに接続する試験ヘッドにおいて、弾性で導電性の材料よりなる接触要素であって、電気部品の試験点に接触するための第1の端部とその反対側にあって、当該部品が試験される際に前記回路の接触点であって、第1の間隔を有して離れて位置する接触点に接触するための第2の端部を有する接触要素と、試験点から離れて位置する第1の案内パネルと、接触点から離れて位置する第2の案内パネルとを有し、当該第1と第2の案内パネルは互いに間隔をあけて設けられており、かつ該第1の案内パネル及び該第2の案内パネルには、それぞれの接触要素を通過させるための第1のフィードスルー開口部と第2のフィードスルー開口部が個別にそれぞれ設けられており、しかも、当該第1と第2のフィードスルー開口は互いにずれていて一致しないように配置されており、更に、当該接触要素は、第1の案内パネルの個々の第1の開口部と第2の案内パネルの個々の第2の開口部とを貫通しておりしかも該第1と第2の開口部は互いに、該弾性材料からなる接触要素が少なくとも該個々の第1と第2の開口部内に摩擦的に十分固定され、それによって当該接触要素が試験点と接触点とに対して、その両者との間の接触圧力によって、該第1と第2の開口部を通してずれることがないように圧接されるような程度にずれているものであり、しかも当該接触要素は該第1と第2の開口部内を移動可能でかつ、除去或いは置換が可能である様に構成されている事を特徴とするインターフェースを有するミクロ構造用の試験ヘッド。

IPC (2件)：

G01R 1/06 , H01L 21/66

FI (2件)：

G01R 1/06 A , H01L 21/66 B

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭61-004971
特開昭63-255671
特開平3-085456

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