特許
J-GLOBAL ID：200903085337615431
表面検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
萩野 平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-313985
公開番号（公開出願番号）：特開2001-147201
出願日： 1999年11月04日
公開日（公表日）： 2001年05月29日
要約：
【要約】【課題】 安価で且つ被検査体の微小な欠陥の有無を高精度で判定できる表面検査装置を提供する。【解決手段】 表面検査装置10は、被検査体50の表面に検査光Lを照射する投光手段11と、被検査体50を介した光L1,L2を受光する受光手段12とを備えている。被検査体50と受光手段12との間には、内周面が反射率の高い反射面とされ、前記光を入射する入射口21と前記光を前記受光手段へ射出する射出口22とを有する光伝達手段20が受光手段12に対して固定配置されている。光伝達手段20の内周面のうち、被検査体50と受光手段12との相対移動の方向Aに対して略垂直な相互に対向する一対の面20a,20bが入射口21から射出口22にかけて互いに離反する傾斜面とされている。
請求項（抜粋）：
被検査体の表面に検査光を照射する投光手段と、前記被検査体を介した光を受光する受光手段とを備え、前記被検査体と前記受光手段とは相対移動され、前記被検査体の欠陥部分の光量が正常部分の光量と異なることを利用して前記受光手段によって欠陥を検出する表面検査装置において、前記被検査体と前記受光手段との間に、内周面が反射率の高い反射面とされ、前記光を入射する入射口と前記光を前記受光手段へ射出する射出口とを有し、前記内周面のうち前記相対移動の方向に対して略垂直な相互に対向する一対の面が前記入射口から前記射出口にかけて互いに離反する傾斜面とされた光伝達手段を、前記受光手段に対して固定配置したことを特徴とする表面検査装置。
Fターム (7件)：
2G051AA90
, 2G051AB07
, 2G051BA20
, 2G051CB05
, 2G051CC11
, 2G051CD04
, 2G051DA06
