特許
J-GLOBAL ID：200903085338078154
マイクロヒータ,フローセンサ及び湿度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柏木 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-083329
公開番号（公開出願番号）：特開平11-281444
出願日： 1998年03月30日
公開日（公表日）： 1999年10月15日
要約：
【要約】【課題】 部分的な温度上昇による抵抗値の経時的変化が起こりにくく、抵抗値のバラツキが小さいマイクロヒータを比較的安価に提供する。【解決手段】 マイクロヒータ5は、導電性薄膜をパターニングすることにより形成された折り返しパターンを有し、絶縁体薄膜で形成されたマイクロブリッジ4で支持されている。このマイクロヒータ5の折り返し部分は、曲線で形成されている。これにより、マイクロヒータ5の線幅が折り返し部分で変化することをなくし、容易に線幅を略一定にすることができるため、マイクロヒータ5の抵抗値のバラツキをなくすことができ、マイクロヒータ5の抵抗値の経時的変化の進行を遅くすることができる。
請求項（抜粋）：
絶縁体薄膜により形成されたマイクロブリッジで支持され、導電性薄膜をパターニングすることにより形成された折り返しパターンを有するマイクロヒータにおいて、マイクロヒータの折り返し部分は湾曲形状で形成されていることを特徴とするマイクロヒータ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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