特許
J-GLOBAL ID：200903085342498125
モジュールICハンドラーの冷却システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-347655
公開番号（公開出願番号）：特開2001-194413
出願日： 2000年11月15日
公開日（公表日）： 2001年07月19日
要約：
【要約】【課題】 モジュールICをテストする際に発生する熱を冷却させるためにエアジェットが設置されたモジュールICハンドラーの冷却システムを提供する。【解決手段】 ベースプレートと、ベースプレート上に設置され、固定部、その一側に設置された複数個のプレート、及びその他側に設置されたカバーからなる少なくとも一つ以上のエアジェットと、エアジェットに連結され、供給パイプと連結された気化器、気化器に連結されたソレノイドバルブ、及びソレノイドバルブの開閉を調節するためのコントローラーからなる発熱補償システムとで構成される。
請求項（抜粋）：
ベースプレートと、固定部と、この固定部の一側に設置された複数個のプレートと、固定部の他側に設置されたカバーとを有し、ベースプレート上に設置された少なくとも一つのエアジェットと、供給パイプに連結された気化器と、気化器に連結されたソレノイドバルブと、ソレノイドバルブの開閉を調節するためのコントローラーとを有しエアジェットに連結された発熱補償システムとを具備するモジュールICハンドラーの冷却システム。
引用特許：
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