塗布膜の乾燥装置および乾燥方法、それらを用いた塗布物の製造装置および製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-151512
公開番号（公開出願番号）：特開2008-302303
出願日： 2007年06月07日
公開日（公表日）： 2008年12月18日
要約：

【課題】精密な膜厚制御を必要とする成膜工程において、乾燥ムラの発生しない乾燥装置を提供することを目的とする。【解決手段】塗布膜面から蒸発した溶剤ガスを排気ボックスにて吸引すると同時に、隣接する給気ボックスから、溶剤ガスを含まない空気を塗布膜面に対し緩やかに均一に供給でき、塗布膜面に乱れを生じさせずに素早く空気の置換が可能なため、精密な膜厚制御を必要とする成膜工程において、乾燥ムラの発生しない乾燥装置を提供することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

搬送中の帯状の基材に溶剤を含む塗布液を塗布し塗布膜を形成する塗布装置と、前記基材に形成した塗布膜を搬送しながら乾燥する乾燥装置とを有する塗布物の製造装置において、前記乾燥装置は、少なくとも前記基材の塗布膜を形成した側に設置され、かつ、複数の孔を有する整風部材と、前記基材の塗布膜を形成した側とは反対側に設置された底板と、右側板と、左側板と、前記塗布膜を搬入する搬入口と、前記塗布膜を搬出する搬出口と、を有する塗布膜搬送部と、前記整風部材を挟んで前記塗布膜搬送部と対向する位置に、開口部を整風部材に向けて配置され、かつ、基材の搬送方向に1以上設置された角箱状の乾燥ボックスと、各乾燥ボックスの前記整風部材と対向する位置に配置された給排気口と、各乾燥ボックスの各給排気口に接続され、乾燥ボックス内へ空気を強制的に給気する給気手段、または乾燥ボックス内から空気を強制的に排気する排気手段のいずれかから選ばれる気流発生手段と、を備え、前記各乾燥ボックスの基材搬送方向の長さが、10mm以上1000mm以下であることを特徴とする塗布物の製造装置。

IPC (5件)：

B05C 9/14 , B05D 3/02 , B05D 7/04 , F26B 13/10 , F26B 21/00

FI (5件)：

B05C9/14 , B05D3/02 Z , B05D7/04 , F26B13/10 C , F26B21/00 C

Fターム (37件)：

3L113AA02 , 3L113AB02 , 3L113AC45 , 3L113AC46 , 3L113AC48 , 3L113AC49 , 3L113AC52 , 3L113AC53 , 3L113AC55 , 3L113AC67 , 3L113BA26 , 3L113BA28 , 3L113BA32 , 3L113CB24 , 3L113DA04 , 3L113DA24 , 4D075AC72 , 4D075BB24Z , 4D075BB56Z , 4D075BB91Z , 4D075DA04 , 4D075DB33 , 4D075DB38 , 4D075DB48 , 4D075DB53 , 4D075DC24 , 4D075DC36 , 4D075EB22 , 4F042AA22 , 4F042BA13 , 4F042BA19 , 4F042BA25 , 4F042DB02 , 4F042DB31 , 4F042DB36 , 4F042DB37 , 4F042DB39

引用特許：

出願人引用 (1件)

乾燥装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-150282 出願人：大日本印刷株式会社

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