特許
J-GLOBAL ID：200903085348525825
真空ポンプ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡本 重文 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-138945
公開番号（公開出願番号）：特開平5-332287
出願日： 1992年05月29日
公開日（公表日）： 1993年12月14日
要約：
【要約】【目的】 真空ポンプの信頼性を向上できる。また製作コストを低減できる。【構成】 真空ポンプの翼列1B、2の隙間は小さいので、ガスを圧縮する過程で、熱を発生する。この熱により、回転軸3及び多段のセラミックス製動翼1B(または1C)は、膨張するが、セラミックスとの線膨張係数差が5×10-6/°C以下の材料により回転軸3を構成し、同回転軸3の動翼取付部3Aを同各動翼1Bに設けた孔に嵌挿し、同回転軸3の動翼取付部3Aの先端部に締結具5を装着して、同各動翼1Bを同回転軸3に固定しており、締結具5の弛み若しくは締まり過ぎによるセラミックス製動翼1Bの破損が防止されて、セラミックス製動翼1Bを有する真空ポンプの信頼性が向上する。また構造が簡単であり、真空ポンプの製作コストが嵩まない。また締結具5と動翼1Cとの間にスペーサ5Aを介装しており、締結具5の締まり過ぎによるセラミックス製動翼1Cの破損が防止されて、この点から、セラミックス製動翼を有する真空ポンプの信頼性が一層向上する。
請求項（抜粋）：
回転軸に取付けた多段の動翼とケーシングに取付けた多段の静翼とにより構成された翼列により、気体を吸気口から排気口へ圧縮しながら排気する真空ポンプにおいて、前記各動翼をセラミックスにより構成し、セラミックスとの線膨張係数差が5×10-6/°C以下の材料により前記回転軸を構成し、同回転軸の動翼取付部を同各動翼に設けた孔に嵌挿し、同回転軸の動翼取付部の先端部に締結具を装着して、同各動翼を同回転軸に固定したことを特徴とする真空ポンプ。
IPC (2件)：
引用特許：
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