特許
J-GLOBAL ID：200903085352592960
試料搬送ホルダ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-008300
公開番号（公開出願番号）：特開平5-198663
出願日： 1992年01月21日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：
【要約】【目的】 試料及び試料搬送ホルダの固定・保持機構の簡略化を図りつつ、試料の高精度の位置決め,固定・保持を可能にし、且つ、メンテナンスの簡便化,時間の短縮を図る。【構成】 試料搬送ホルダ1に静電吸着機構3が設けられ、この静電吸着機構は電極膜6,7付きのを絶縁基板5を挾持するように静電吸着部材(高誘電体)8,9を積層してなり、これにより、ホルダ1の試料載置面側に静電吸着部材8が、試料移動台14に接触する側の面に静電吸着部材9が配置される。
請求項（抜粋）：
試料室と試料交換室との間を試料を保持しつつ往き来する試料搬送ホルダで、試料室側では試料移動台上に固定される試料搬送ホルダにおいて、該試料搬送ホルダの一方の面(試料載置面)と他方の面(試料移動台接触面)との双方に静電吸着部材を設けたことを特徴とする試料搬送ホルダ。
引用特許：
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