特許

J-GLOBAL ID：200903085356473966

クリーンルーム用排気清浄装置

発明者： 那 須 一 文
出願人/特許権者： エスエムシー株式会社
代理人 (1件)： 林 宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-241886
公開番号（公開出願番号）：特開2000-070636
出願日： 1998年08月27日
公開日（公表日）： 2000年03月07日
要約：

【要約】【課題】 クリーンルーム内で使用される空気圧機器の排気を直接クリーンルーム内に排出することができる程度に空気清浄レベルを高めることができるクリーンルーム用排気清浄装置を得る。【解決手段】 フィルタ収容体をフィルタエレメント1による異物の捕捉状態を透視可能に形成し、該フィルタエレメント1と排気口6との間に、異物の捕捉により濾過能力が低下したフィルタエレメント1を透過する異物を捕捉するための補助フィルタエレメント5を設ける。

請求項（抜粋）：

空気を濾過する筒状のフィルタエレメントと、該フィルタエレメントを内部に収容するフィルタ収容体とを備え、該収容体における送入口から送入された空気が上記フィルタエレメントを通過することにより濾過された後、排気口から排出されるように構成された排気清浄装置において、上記フィルタ収容体を、フィルタエレメントによる異物の捕捉状態を透視可能に形成し、該フィルタエレメントと排気口との間に、異物の捕捉により濾過能力が低下したフィルタエレメントを透過する異物を捕捉するための補助フィルタエレメントを設けたことを特徴とするクリーンルーム用排気清浄装置。

IPC (3件)：

B01D 46/24 ,  F24F 7/00 ,  F24F 7/06

FI (3件)：

B01D 46/24 C ,  F24F 7/00 A ,  F24F 7/06 C

Fターム (16件)：

3L058BF05 ,  4D058JA02 ,  4D058JB04 ,  4D058JB05 ,  4D058JB25 ,  4D058JB39 ,  4D058KA01 ,  4D058KA15 ,  4D058KA27 ,  4D058KB12 ,  4D058LA01 ,  4D058PA02 ,  4D058PA03 ,  4D058PA04 ,  4D058SA04 ,  4D058SA16

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開昭54-128062