ステージ制御装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡部正夫 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-226495
公開番号（公開出願番号）：特開平10-070175
出願日： 1996年08月28日
公開日（公表日）： 1998年03月10日
要約：

【要約】【課題】ステージ制御装置において、サーボループゲインを高くせずに追従性を向上させ、加減速時に発生する振動を極力抑えること。【解決手段】速度指令及び加速度指令を用いてフィードフォワード信号を生成し、このフィードフォワード信号により補償を行うようにした。

請求項（抜粋）：

一次元以上の移動ステージと、前記移動ステージを駆動する移動ステージ駆動機構と、前記移動ステージ駆動機構を制御する駆動制御装置とを有し、前記駆動制御装置は、速度指令及び加速度指令を用いて与えられるフィードフォワード信号による補償を行うことを特徴とするステージ制御装置。

IPC (4件)：

H01L 21/68 , G03F 9/00 , G05D 3/12 305 , H01L 21/027

FI (4件)：

H01L 21/68 K , G03F 9/00 H , G05D 3/12 305 Z , H01L 21/30 515 G

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