特許

J-GLOBAL ID：200903085361111908

セラミック盤及びその製造方法

発明者： 五十嵐 博文
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-024807
公開番号（公開出願番号）：特開2002-233974
出願日： 2001年01月31日
公開日（公表日）： 2002年08月20日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】炭化珪素質セラミックス等黒色のセラミック盤に識別表示部を形成する。【解決手段】黒色系セラミックスからなるセラミック盤1の表面に刻設した識別表示溝に、白色系セラミックス又は白色系フッ素樹脂を充填して識別表示部7を形成する。【効果】炭化珪素質セラミックスを用いたセラミック盤において、ウエーハ研磨時の生産性の向上と、高精度なウエーハ研磨ができ、治具やウエーハの品質管理やロット管理が可能となる。

請求項（抜粋）：

黒色系セラミックスからなるセラミック盤の表面に刻設した識別表示溝に、白色系セラミックス又は白色系フッ素樹脂を充填して識別表示部を形成したことを特徴とするセラミック盤。

IPC (7件)：

B25H 7/02 ,  B24B 37/04 ,  C04B 41/82 ,  C04B 41/87 ,  C04B 41/91 ,  H01L 21/304 622 ,  H01L 21/304

FI (7件)：

B25H 7/02 A ,  B24B 37/04 A ,  C04B 41/82 A ,  C04B 41/87 J ,  C04B 41/91 Z ,  H01L 21/304 622 G ,  H01L 21/304 622 F

Fターム (4件)：

3C058AA07 ,  3C058AC02 ,  3C058CB03 ,  3C058DA17