露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田辺恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-099319
公開番号（公開出願番号）：特開平9-266166
出願日： 1996年03月28日
公開日（公表日）： 1997年10月07日
要約：

【要約】【課題】本発明は、露光装置において、半導体素子又は液晶表示素子を製造する際に、ウエハホルダとウエハとの間に付着する異物により歩留りが低下することを防止する。【解決手段】基板ステージ上から着脱自在なウエハホルダと、ウエハホルダ及びウエハを各々上下に移動する移動手段と、複数のウエハ又は複数のウエハホルダを各々保管する第1及び第2の保管部と、ウエハ又はウエハホルダを第1又は第2の保管部と基板ステージとの間で搬送路を介して搬送する搬送手段と、ウエハホルダの載置面を被うホルダカバーを装着する装着手段とを設ける。ウエハホルダを基板ステージ上から脱着して第2の保管部に搬送するようにしたことにより、ウエハホルダ又はウエハホルダのウエハ載置面を装置外部で人手を介さずに清掃できる。また搬送時及び装置内部ではウエハホルダにホルダカバーを装着することにより、ウエハホルダへの異物の付着を防止し得る。

請求項（抜粋）：

所望のパターンをウエハ上に形成する露光装置において、前記ウエハを吸着保持するウエハホルダと、前記ウエハホルダ全体又は前記ウエハを載置する前記ウエハホルダの載置面を着脱自在に支持する基板ステージと、前記ウエハホルダ又は前記ウエハホルダの載置面を上下に移動すると共に、前記ウエハホルダ上に配された前記ウエハを上下に移動する移動手段と、前記ウエハを複数保管する第1の保管部と、前記ウエハの種類及び形状に応じた複数の前記ウエハホルダ又は前記ウエハホルダの載置面を保管する第2の保管部と、前記ウエハを前記第1の保管部と前記ウエハホルダとの間で搬送路を介して搬送すると共に、前記ウエハホルダ又は前記ウエハホルダの載置面を前記基板ステージと前記第2の保管部との間で前記搬送路を介して搬送する搬送手段とを具えることを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521 , H01L 21/68

FI (4件)：

H01L 21/30 502 J , G03F 7/20 521 , H01L 21/68 N , H01L 21/30 514 D

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