特許
J-GLOBAL ID：200903085380188792
ステージ装置、およびこれを用いた露光装置、ならびにデバイス製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-359807
公開番号（公開出願番号）：特開平11-191585
出願日： 1997年12月26日
公開日（公表日）： 1999年07月13日
要約：
【要約】【課題】 6自由度の位置を制御可能なステージで、簡単な構成により、機械系の共振点を高くし、サーボ帯域の広い、高速・高精度なステージ装置を提供する。【解決手段】 電磁石とエアパッドによりステージのチルト方向の位置決めを行い、ガイドレスモータにより定盤の基準面内方向の位置決めを行い、ステージの本体を一枚の基板で構成するモノリシック構造とした。
請求項（抜粋）：
基準面を有する定盤と、該基準面の上で移動するステージと、該基準面と該ステージとの間に間隙をつくる複数の静圧軸受と、該ステージと該基準面の間に予圧を発生する複数の予圧手段と、該ステージを該基準面内方向に駆動するための複数のガイドレスモータと、を有することを特徴とするステージ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 G
, H01L 21/30 508 Z
