特許
J-GLOBAL ID：200903085382266383
酸化物単結晶の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-180366
公開番号（公開出願番号）：特開平7-033586
出願日： 1993年07月21日
公開日（公表日）： 1995年02月03日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 本発明はチョクラルスキー法によってねじれがなく、良質な結晶を長尺なものとして製造することができる酸化物単結晶の製造方法の提供を目的とするものである。【構成】 本発明による酸化物単結晶の製造方法は、高周波加熱によるチョクラルスキー法により酸化物単結晶を育成する方法において、この炉内構造を貴金属ルツボの上端にドーナツ板状のリフレクターを設置すると共に、その上に円筒状のアフターヒーターを配置したものとし、引上げ後半に単結晶の直胴部の上端がリフレクターの上部に出るようにして単結晶を引き上げることを特徴とするものである。
請求項（抜粋）：
高周波加熱によるチョクラルスキー法により酸化物単結晶を育成する方法において、この炉内構造を貴金属ルツボの上端にドーナツ板状のリフレクターを設置すると共に、その上に円筒状のアフターヒーターを配置したものとし、引上げ後半に単結晶の直胴部の上端がリフレクターの上部に出るようにして単結晶を引き上げることを特徴とする酸化物単結晶の製造方法。
IPC (3件)：
C30B 15/14
, C30B 15/00
, C30B 29/30
