特許
J-GLOBAL ID：200903085386272930
加速度センサ及び角速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-255019
公開番号（公開出願番号）：特開平6-235733
出願日： 1993年09月17日
公開日（公表日）： 1994年08月23日
要約：
【要約】【目的】 コストアップを伴わずにしかも複雑な演算過程を不要にした簡単な構造の加速度センサ及び超小型化を図るようにした角速度センサを提供する。【構成】 基板1上の絶縁体15上に片持ち梁構造の上部電極3を設けると共に、基板1上に下部電極2を設け、各電極2,3間に電源Eを接続する。電源Eによって常に電界放射が生じる程度の一定電圧を加えた状態で、力が加わったとき上部電極3をたわませてこのたわみ量に対応した電流を検出することによって、直ちに加速度を求める。
請求項（抜粋）：
基板上の絶縁体上に一方の電極が片持ち梁構造に支持されると共に他方の電極が基板上に設けられた一対の電極と、一対の電極間に電界放射が生じるように接続された電源と、電源によって一対の電極間に流れる電流を検出する検出回路とを含み、前記電流は一方の電極のたわみ量に対応して流れるように構成したことを特徴とする加速度センサ。
IPC (3件)：
G01P 15/14
, G01P 9/04
, H01L 29/84
