特許

J-GLOBAL ID：200903085391153672

感圧素子、及びこれを用いた圧力センサ

発明者： 石井 修
出願人/特許権者： 東洋通信機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-299699
公開番号（公開出願番号）：特開2004-132913
出願日： 2002年10月11日
公開日（公表日）： 2004年04月30日
要約：

【課題】2枚の圧電ダイヤフラムを積層した構造の感圧素子、及びこれを用いた圧力センサにおいて、相対圧及び絶対圧の何れにも適用可能な感圧素子、及びこれを用いた圧力センサを提供する。【解決手段】双音叉振動子2を、凹部4を有する水晶ダイヤフラム3の内部底面5に設けた載置部7a及び7bに固定し、凹部9を有する水晶ダイヤフラム8と水晶ダイヤフラム3とを互いに凹部開口面を向き合わせて結合するが、このとき、水晶ダイヤフラム8と水晶ダイヤフラム3とを中央近傍にて結合する力伝達用柱部6a及び6bを備えて感圧素子1を構成する。この構造により、応力P1とP2の圧力差による感圧素子1の変形方向に応じて、双音叉振動子2の発振周波数が上昇または下降する方向に変化するので、前記圧力差の極性(正圧/負圧の関係)を検知することができる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

圧電基板の少なくとも一方の主面に凹部を有する二つの圧電ダイヤフラムを前記凹部同士が向き合うように積層して形成される内部空間中に圧電振動子を配置した感圧素子において、 前記圧電振動子の両端を前記圧電ダイヤフラムの一方の凹部内底面に固定すると共に、 前記二つの圧電ダイヤフラムの凹部内底面同士を力伝達用柱にて連結したことを特徴とする感圧素子。

IPC (1件)：

G01L9/00

FI (1件)：

G01L9/00 C

Fターム (9件)：

2F055AA40 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055CC54 ,  2F055CC55 ,  2F055DD19 ,  2F055EE39 ,  2F055FF49 ,  2F055GG11