特許
J-GLOBAL ID：200903085393000393
磁性反転導体と一又は複数の磁気抵抗レジスタとからなる磁界センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三枝 英二 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-501271
公開番号（公開出願番号）：特表平8-503778
出願日： 1994年05月31日
公開日（公表日）： 1996年04月23日
要約：
【要約】磁気抵抗効果を基にしたセンサが、薄層装置に一体として組み込まれた蛇行状磁性反転導体(6)を備えている。該磁気抵抗層ストリップには、前記導体の蛇行構造に適用するようにされ正負の傾きが交互に変わるバーバーポール構造(3)を有する領域(1)が設けられている。該領域(1)の磁化を反転させるために必要とされる電流は、特に微弱である。領域(1)の磁化を周期的に反転させることにより、ドリフトのない交流電圧がセンサの出力信号として確保される。ドリフトがないということは、磁界センサを使用して微弱な磁界を測定するための前提条件である。
請求項（抜粋）：
再磁化ラインと、バーバーポール構造を有する膜ストリップによって形成された一又は複数の磁気抵抗レジスタとからなる磁界センサであって、一又は複数の並列した磁気抵抗膜ストリップが磁気的に分離された領域(1)を備えており、該領域は互いに接続され前記膜ストリップの長手方向に対して交互に正角(4)及び負角(3)を成すバーバーポール構造(3,4)を有しており、高導電性薄膜導体ストリップ(6)が、再磁化ラインとしての役割を果たし、長手方向が前記磁気抵抗膜ストリップの長手方向に対して角度を形成し、しかも該膜ストリップと絶縁され該膜ストリップの下に蛇行状に配置されていることを特徴とする磁界センサ。
IPC (4件)：
G01R 33/09
, G01R 17/12
, G01R 33/022
, H01L 43/08
