特許

J-GLOBAL ID：200903085396779421

薬液供給装置

発明者： 小澤 俊夫 ,  櫻井 明 ,  野部 友康
出願人/特許権者： 株式会社鷺宮製作所
代理人 (4件)： 瀧野 秀雄 ,  越智 浩史 ,  松村 貞男 ,  垣内 勇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-063619
公開番号（公開出願番号）：特開2004-273830
出願日： 2003年03月10日
公開日（公表日）： 2004年09月30日
要約：

【課題】気化しやすい薬液の供給でも、気泡の影響を受けずに正確に秤量し、処理槽等に対する薬液供給を正確に行うこと。【解決手段】ベローズポンプ3を縦置きし、ポンプ室の最上部に連通する吐出口を設け、この吐出口を電磁開閉バルブV2、V3によって、薬液供給タンク2に薬液を戻す薬液戻し管34と、薬液を洗浄槽1等の処理部へ供給する薬液供給管33との何れか一方に切換接続する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

薬液供給タンクより薬液を吸入して処理部へ供給する薬液供給装置において、 前記薬液供給タンクより薬液が吸入されるポンプ室と、 前記ポンプ室に前記薬液供給タンクより薬液を吸入する往復ポンプと、 前記ポンプ室の上部に連通する薬液吐出用の吐出口と、 前記薬液供給タンクに薬液を戻す薬液戻し通路と、前記処理部へ薬液を供給する薬液供給通路との何れか一方に前記吐出口を切換接続する流路切換手段と、 を有することを特徴とする薬液供給装置。

IPC (4件)：

H01L21/304 ,  B08B3/04 ,  F04B23/02 ,  F04B43/08

FI (6件)：

H01L21/304 648K ,  H01L21/304 642A ,  H01L21/304 648G ,  B08B3/04 Z ,  F04B23/02 C ,  F04B43/08 A

Fターム (22件)：

3B201AA02 ,  3B201AA03 ,  3B201AB01 ,  3B201BB02 ,  3B201BB03 ,  3B201BB93 ,  3B201BB96 ,  3H071AA01 ,  3H071BB01 ,  3H071CC13 ,  3H071CC42 ,  3H071DD04 ,  3H071DD72 ,  3H077AA08 ,  3H077CC03 ,  3H077CC07 ,  3H077DD02 ,  3H077EE05 ,  3H077EE11 ,  3H077EE16 ,  3H077FF06 ,  3H077FF55