特許
J-GLOBAL ID：200903085405057434
水晶振動子の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-191534
公開番号（公開出願番号）：特開平7-046072
出願日： 1993年08月03日
公開日（公表日）： 1995年02月14日
要約：
【要約】【目的】通信機器等に発振子、フィルターとして多用されている水晶振動子において、振動用水晶板を30μm以下に研磨することが、困難であるという問題を解決し、100MHz以上の基本振動数を有する水晶振動子が、量産可能で、歩留まり良く生産できる製造方法を提供することを目的とする。【構成】基板2上に振動用水晶板1を直接接合し、両面同時研磨を行った後、基板2に貫通孔を設け、励振電極3を形成する。【効果】撓みのない厚い基板2に水晶板1を直接接合することにより、厚いキャリアで研磨が可能であるため、水晶デバイスに必要な平面度、平行度、表面粗さを保ったまま水晶板1を15μm以下に研磨することができるので、100MHz以上の基本振動数を有する水晶振動子が、量産可能で、歩留まり良く生産できる。
請求項（抜粋）：
基板上に振動用水晶板を直接接合し、それぞれの非接合面を両面同時研磨し、その後、前記基板に貫通孔を設け、前記貫通孔に対応する部分を励振させるように電極を形成することを特徴とする水晶振動子の製造方法。
IPC (3件)：
H03H 3/02
, H03H 9/17
, H03H 9/19
