特許

J-GLOBAL ID：200903085405288070

炭化ケイ素被覆サセプタ-

発明者： 五十嵐 貴教 ,  望月 淳夫 ,  中島 正弘 ,  杉山 大吾 ,  和出 昇
出願人/特許権者： トピー工業株式会社
代理人 (1件)： 稲垣 仁義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-104197
公開番号（公開出願番号）：特開平11-035391
出願日： 1998年04月01日
公開日（公表日）： 1999年02月09日
要約：

【要約】【課題】繰り返し使用による熱サイクルをうけても、炭化ケイ素被覆層にクラックが発生しないようにして、サセプタ-の寿命を向上させ、製品汚染に対する信頼性を向上させたサセプタ-を提供する。【解決手段】炭素基材を収容した反応容器を、真空引きした後反応ガスを流す操作を繰り返して、前記炭素基材の空孔内部から炭化ケイ素を充填するパルス化学気相含浸法によって炭化ケイ素を目詰めし、前記炭素基材の表面に炭化ケイ素被膜を形成してサセプタ-とし、サセプタ-の寿命を向上させた。

請求項（抜粋）：

炭素基材を収容した反応容器を、真空引きした後反応ガスを流す操作を繰り返して、前記炭素基材の空孔内部から炭化ケイ素を充填するパルス化学気相含浸法によって炭化ケイ素を目詰めし、前記炭素基材の表面に炭化ケイ素被膜を形成したことを特徴とする炭化ケイ素被覆サセプタ-。

IPC (5件)：

C30B 25/12 ,  C04B 41/87 ,  D01F 9/12 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/68

FI (5件)：

C30B 25/12 ,  C04B 41/87 V ,  D01F 9/12 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/68 N