特許

J-GLOBAL ID：200903085408993394

干渉フィルタ付光導波路

発明者： 小口 泰介 ,  須田 裕之 ,  塙 文明 ,  高戸 範夫 ,  富田 信夫
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 光石 俊郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-138571
公開番号（公開出願番号）：特開平5-333222
出願日： 1992年05月29日
公開日（公表日）： 1993年12月17日
要約：

【要約】【目的】 基板上に光導波路よりなる光導波回路を構成すると共に該光導波路を横断する溝を形成し、該溝に干渉フィルタを挿入してなる干渉フィルタ付光導波路において、反射戻り光の減衰率を高める為に前記溝を傾斜させる際に、作業性を低下させず、チップの寸法を大きくさせることなく、生産性を向上させることを目的とする。【構成】 前記溝を、基板面内において傾斜させるのではなく、深さ方向に対して垂直方向より所定の角度傾斜させるので、ウェハの状態において溝を形成する作業が容易となる。

請求項（抜粋）：

基板上に光導波路よりなる光導波回路を構成すると共に該光導波路を横断する溝を形成し、該溝に干渉フィルタを挿入してなる干渉フィルタ付光導波路において、前記溝は、深さ方向に対して垂直方向より所定の角度傾斜していることを特徴とする干渉フィルタ付光導波路。

IPC (2件)：

G02B 6/12 ,  G02B 6/00 306

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-033713
  
• 特開昭50-147343