特許

J-GLOBAL ID：200903085409440470

固体撮像装置の駆動方法、撮像装置、アライメント装置、および位置合わせ方法

発明者： 赤川 圭一 ,  駒井 敦
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 古谷 史旺
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP1999000561
公開番号（公開出願番号）：WO1999-041904
出願日： 1999年02月10日
公開日（公表日）： 1999年08月19日
要約：

【要約】本発明は、垂直転送中の画素出力を垂直加算することにより、露光装置のアライメント検出用途などに適した画像信号を迅速に生成することができる。また、本発明は、垂直加算の回数を柔軟に変更することにより、画像信号の出力レベルを適正に調整することができる。さらに、本発明は、垂直転送路上に排出ゲートを設けて、1次元画像の生成に不要な画素出力を選択的に排出するので、1次元画像の信号品質を一段と高めることができる。また、本発明は、同じ撮像素子を用いて試験的に2次元画像を読み出して、1次元画像の生成に不要な画素位置を自動的に特定することにより、1次元画像の信号品質を手間なくかつ確実に高める。

請求項（抜粋）：

水平垂直に複数配列され、受光量に応じて信号電荷を生成する受光画素と、前記受光画素で生成された信号電荷を垂直転送する垂直CCDと、前記垂直CCDを介して転送される信号電荷を水平転送する水平CCDとを備えた固体撮像装置を駆動する方法において、 前記垂直CCDを駆動して、前記受光部に生成された信号電荷を順次に垂直転送する垂直転送ステップと、 前記垂直CCDを介して垂直転送される信号電荷を水平CCD上で混合し、垂直3画素分以上の信号電荷が混合された状態で、水平CCD上の信号電荷を水平転送する水平転送ステップと を有することを特徴とする固体撮像装置の駆動方法。

IPC (4件)：

H04N 5/335 ,  G01B 11/00 ,  H01L 21/027 ,  H01L 27/148

FI (4件)：

H04N 5/335 Z ,  G01B 11/00 H ,  H01L 21/30 507 R ,  H01L 27/14 B