特許
J-GLOBAL ID：200903085412055064
イオン・ビーム装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
頓宮 孝一 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-273549
公開番号（公開出願番号）：特開平5-114381
出願日： 1991年09月26日
公開日（公表日）： 1993年05月07日
要約：
【要約】【構造】 イオン・ビーム装置には、容器の各々上および底壁の中心を通る第1及び第2アパーチャを有する円筒形缶などのガス容器を含んでおり、この缶には、試料から放出された電子などの二次荷電粒子を電子検出手段に向けて、この構造が画像システムとして機能するように、電圧および/または磁界を加えるための偏向手段をも含めることができる。【効果】 第1タイプの粒子(金原子、タングステン原子、等)を含むガスが、下部アパーチャから缶を出て、缶のすぐ下に置かれたマスクまたはチップまたは他の製造品目などの目標試料表面に吸着される。第2タイプの粒子(ガリウム・イオン)を含むイオン・ビームは、最小相互作用でガスを通過し、目標試料表面に当たって吸着ガスおよび第1タイプ粒子を分解して、試料表面の修理などの修整をもたらす。
請求項（抜粋）：
(a)第1アパーチャを有する上側部及び上記第1アパーチャと同一直線上にある第2アパーチャを有する下側部を有する目標試料上に置かれたガス容器手段と、(b)集束イオン・ビームが上記第1及び第2アパーチャを通過して上記試料に達し、上記目標試料から二次荷電粒子を放出させ、上記の放出された二次荷電粒子が上記目標試料から上記第2及び第1アパーチャを通して移動するところの、上記ガス容器手段の上に置かれた集束イオン・ビームを発生させるためのイオン・ビーム発生器と、(c)電子信号表示をもたらすように上記第1のアパーチャを通り偏向されて移動する上記荷電粒子を検出するための、上記容器手段の上記上側部の上記第1アパーチャの近辺に置かれた荷電粒子検出手段とを具備する、イオン・ビーム装置。
IPC (6件)：
H01J 37/30
, H01J 27/00
, H01J 37/28
, H01L 21/265
, H01L 21/302
, H05H 3/06
