基板の異物検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：梶山佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-197011
公開番号（公開出願番号）：特開平9-021759
出願日： 1995年07月10日
公開日（公表日）： 1997年01月21日
要約：

【要約】【課題】検査効率を向上させることができる基板の異物検査装置を提供することにある。【解決手段】正多角形のポリゴンミラー一方の頂点を他方のポリゴンミラーの各辺の中央位置に位置付けるように回転制御をしているので、一方の走査が完了した後に他方の走査が行われ、トータルの無効走査幅が減少して効率のよい検査が可能になる。

請求項（抜粋）：

被検査基板の表面を走査するために第1のレーザ光を受けてこれを反射させる実質的に各辺が等しい正多角形の第1のポリゴンミラーと、第2のレーザ光を受けてこれを反射させる前記正多角形と同じ角数の実質的に各辺が等しい正多角形であって前記第1のポリゴンミラーが走査する走査線上を走査する第2のポリゴンミラーと、前記第1のポリゴンミラーの反射位置が多角形の頂点にあるときに前記第2のポリゴンミラーの反射位置が多角形の辺のほぼ中央位置になるように前記第1のポリゴンミラーと前記第2のポリゴンミラーとの回転を制御する制御回路とを備え、前記走査線上を走査する前記第1および第2のポリゴンミラーの反射光による走査範囲が前記中央位置を中心にして各辺の長さの1/2以下である基板の異物検査装置。

引用特許：

審査官引用 (2件)

ガラス板の異物検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-353230 出願人：日立電子エンジニアリング株式会社
特公昭51-047062

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