特許

J-GLOBAL ID：200903085417908847

電子注入性電極の製造方法およびこの方法を用いた有機EL素子の製造方法

発明者： 中村 浩昭 ,  楠本 正
出願人/特許権者： 出光興産株式会社
代理人 (1件)： 中村 静男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-320776
公開番号（公開出願番号）：特開平5-159882
出願日： 1991年12月04日
公開日（公表日）： 1993年06月25日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】アルカリ金属を含有する化学的安定性の高い電子注入性電極をその組成を容易に制御しつつ製造する方法と、発光効率が向上した均一発光の有機EL素子を容易に得られる有機EL素子の製造方法を提供する。【構成】Li合金及び/又はLi化合物をLi用蒸着源とし、他に短周期律表のIb族、IIa族、IIb族、 IIIa族、 IIIb族、IVa族、IVb族、Va族、Vb族、VIa族、VIb族、 VIIb族及びVIII族のいずれかの族に属する少なくとも1種の第2金属を第2蒸着源とする多元蒸着法により、Li用蒸着源から実質的にLiのみを、又第2蒸着源から第2金属を蒸着させて、Li含有膜からなる電子注入性電極を得る。有機EL素子の製造方法では、互いに対向する2つの電極の間に少なくとも有機発光材料が介在してなる有機EL素子を製造するにあたって、2つの電極のうちの一方の電極を、上述した電子注入性電極の製造方法に基づいて得る。

請求項（抜粋）：

Li合金および/またはLi化合物をLi用蒸着源とし、他に短周期律表のIb族、IIa族、IIb族、 IIIa族、 IIIb族、IVa族、IVb族、Va族、Vb族、VIa族、VIb族、 VIIb族、およびVIII族のいずれかの族に属する少なくとも1種の第2金属を第2蒸着源とする多元蒸着法により、前記Li用蒸着源から実質的にLiのみを、そして前記第2蒸着源から前記第2金属を蒸着させて、Li含有膜からなる電極を得ることを特徴とする電子注入性電極の製造方法。

IPC (4件)：

H05B 33/26 ,  G09F 9/30 365 ,  H05B 33/10 ,  H01B 1/02