特許

J-GLOBAL ID：200903085418608553

ワーク移動式反応性スパッタ装置とワーク移動式反応性スパッタ方法

発明者： 隅田 孝生 ,  荒木 宗也
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 尾川 秀昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-218490
公開番号（公開出願番号）：特開2001-049432
出願日： 1999年08月02日
公開日（公表日）： 2001年02月20日
要約：

【要約】【課題】 複数のプロセス部2A、2Bを分離部3を介して連接し、各プロセス部2A、2Bにそれぞれ互いに独立したガス雰囲気をつくり、そのプロセス部2A、2Bにてそれぞれ異なる成膜をスパッタにより行うワーク移動式(搬送台車インライン方式)反応性スパッタにおいて、CRT搭載台車10の大きさの違いに対する対応度を高め、且つガス交換の必要性をなくし、ガス交換時間の存在によってCRT台車10の転送に時間が長くかかるという問題をなくす。【解決手段】 分離用ガス、例えば不活性ガスアルゴンArを略垂直方向に供給する手段5を設けて分離用ガスカーテンを形成するようにし、更に、分離部3内にすだれ状遮蔽物8を配設してプロセス2A、2B内の放電ガス雰囲気間の分離を行い、その状態で、各プロセス部2A、2Bでの独立したスパッタを行うと共に、CRT11のプロセス部2A・2B間における移動を行うようにする。

請求項（抜粋）：

複数のプロセス部を分離部を介して連設し、該各プロセス部にそれぞれ互いに独立したガス雰囲気をつくり、そのプロセス部にてそれぞれ独立して成膜をスパッタにより行うワーク移動式反応性スパッタ装置において、上記分離部内に、分離用ガスを複数のプロセス部の連設方向と交差する方向に供給する分離用ガス給手段を設け、更に、上記分離部内にすだれ状遮蔽物を配設してなることを特徴とするワーク移動式反応性スパッタ装置。

IPC (3件)：

C23C 14/34 ,  H01J 9/20 ,  H01J 9/46

FI (4件)：

C23C 14/34 V ,  C23C 14/34 J ,  H01J 9/20 A ,  H01J 9/46 A

Fターム (15件)：

4K029AA09 ,  4K029BA17 ,  4K029BA35 ,  4K029BA48 ,  4K029BA58 ,  4K029BB02 ,  4K029CA06 ,  4K029DA04 ,  4K029DC05 ,  4K029DC16 ,  4K029KA01 ,  4K029KA05 ,  5C012AA01 ,  5C028AA01 ,  5C028AA10