特許
J-GLOBAL ID：200903085421065102
固体有機金属の供給方法及びその供給装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金田 暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-066953
公開番号（公開出願番号）：特開2003-273093
出願日： 2002年03月12日
公開日（公表日）： 2003年09月26日
要約：
【要約】【課題】 高い濃度の原料ガスを長期間、効率よく安定的に供給する固体有機金属の供給方法等を提供する。【解決手段】 固体有機金属3を担持する有機金属担持体1の一方の端面から他方の端面へ貫通する多数の貫通穴(不図示)の表面にそれぞれ担持させた固体有機金属3を固体有機金属3が昇華する温度の雰囲気中に保持し、各貫通穴にキャリアガスを通過させることによりキャリアガスに固体有機金属3が混入して得られる原料ガスを供給する。
請求項（抜粋）：
固体有機金属を原料として基板上に薄膜を成膜する成膜装置に前記固体有機金属を供給する固体有機金属の供給方法において、前記固体有機金属を担持する担持体の一方の端面から他方の端面へ貫通する多数の貫通穴の表面にそれぞれ担持させた前記固体有機金属を前記固体有機金属が昇華する温度の雰囲気中に保持し、前記各貫通穴にキャリアガスを通過させることにより前記キャリアガスに前記固体有機金属が混入して得られる原料ガスを前記成膜装置に供給することを特徴とする固体有機金属の供給方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/31 B
, C23C 16/448
4K030AA11
, 4K030AA16
, 4K030BA01
, 4K030BA22
, 4K030BA42
, 4K030BA46
, 4K030CA05
, 4K030EA01
, 5F045AA04
, 5F045AB31
, 5F045AC07
, 5F045AC16
, 5F045BB01
, 5F045BB08
, 5F045EE02
