特許
J-GLOBAL ID:200903085426972620

X線応力測定方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岡田 英彦 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-216463
公開番号(公開出願番号):特開平11-064121
出願日: 1997年08月11日
公開日(公表日): 1999年03月05日
要約:
【要約】【課題】 X線応力分析方法により3次元の応力分布を測定できるようにすること。【解決手段】 白色X線15を被測定物3に照射して、該被測定物3により回折したX線16を検出することにより、該被測定物3の結晶格子歪みを検出することにより該被測定物3の応力を推定するX線応力測定方法であって、前記回折角θを一定に保ちつつ、前記被測定物3の前記白色X線15照射部位をXY平面上にて逐次変化させて、前記被測定物3の結晶格子歪みのXYZ方向の3次元分布を検出し、前記被測定物3の結晶格子歪みの3次元分布に対応した前記被測定物3の3次元応力分布を推定することを特徴とするX線応力測定方法。
請求項(抜粋):
白色X線を被測定物に照射して、該被測定物により回折したX線を検出することにより、該被測定物の結晶格子歪みを検出することにより該被測定物の応力を推定するX線応力測定方法であって、前記回折角を一定に保ちつつ、前記被測定物の前記白色X線照射部位をXY平面上にて逐次変化させて、前記被測定物の結晶格子歪みのXYZ方向の3次元分布を検出し、前記被測定物の結晶格子歪みの3次元分布に対応した前記被測定物の3次元応力分布を推定することを特徴とするX線応力測定方法。
IPC (2件):
G01L 1/00 ,  G01N 23/20
FI (2件):
G01L 1/00 A ,  G01N 23/20

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