整合点距離検出補正装置及びその方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-071483
公開番号（公開出願番号）：特開2002-271160
出願日： 2001年03月14日
公開日（公表日）： 2002年09月20日
要約：

【要約】【課題】高周波電源における負荷の多様化と進行波電力と反射波電力のセンサー特性のパワー依存性、周波数依存性による影響を最小限に抑え、精度良く短時間で整合させる整合点距離検出補正装置とその制御方法を提供する【解決手段】高周波電源と整合装置が直列接続された交流電力供給装置において、整合点距離検出補正装置は高周波電力検出器より検出した進行波電力と反射波電力信号を、反射波電力係数演算処理により反射波電力係数を演算させ、その信号をべき乗演算処理して直線性をもった整合点距離演算を行い、整合回路にある2つの可変コンデンサのモータをドライブ回路で制御して前記整合点距離をゼロにする整合点距離検出補正装置を提供できる。

請求項（抜粋）：

高周波電源と整合装置が直列接続された交流電力供給装置において、高周波電源内の高周波電力検出器により検出した進行波電力と反射波電力を、反射波電力係数演算処理により整合点からの距離を演算させ、べき乗補正をして2つの可変コンデンサをモータで交互に調整し、前記反射波電力をゼロにすることを特徴とする整合点距離検出補正装置。

IPC (3件)：

H03H 7/38 , H01P 5/04 , H03H 7/40

FI (3件)：

H03H 7/38 Z , H01P 5/04 E , H03H 7/40

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