超微粉のマイクロ波プラズマ化学合成

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石田敬 (外4名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-521901
公開番号（公開出願番号）：特表2001-504753
出願日： 1997年11月04日
公開日（公表日）： 2001年04月10日
要約：

【要約】本発明は、マイクロ波プラズマ装置と化学合成技術を用いた超微粉の製造に関する。マグネトロン(1)で発生したマイクロ波は、プラズマトロン(3)のヘッドに到達する前に、導波路(2)を通過する。この高エネルギーのマイクロ波は、プラズマガスをイオン化し、こうして大量のエネルギーを放出する。こうして放出されたエネルキーは、プラズマトロン(3)に渦巻きパターンで吸い込まれる所望の元素の間で化学反応を開始させそして維持するために利用される。反応生成物は、反応装置のカラム(4)内で急冷され、超微粉になる。

請求項（抜粋）：

マイクロ波発生装置と、前記マイクロ波発生装置で発生したマイクロ波が、プラズマが反応物質を加熱して反応生成物を生成するプラズマ領域へ進む導波路と、プラズマガスの入口であってこの入口を通過するプラズマガスが渦巻き状のパターンで前記プラズマ領域に入るように、ある角度に片寄らせたプラズマガス入口と、前記プラズマ領域の下流側に位置し、前記反応生成物を集めるための反応生成物コレクタと、を含む、材料のマイクロ波合成装置。

IPC (7件)：

B01J 19/08 , B01J 2/00 , B22F 9/14 , B22F 9/20 , C01B 21/072 , C01G 23/07 , H05H 1/46

FI (8件)：

B01J 19/08 J , B01J 2/00 A , B22F 9/14 Z , B22F 9/20 F , B22F 9/20 H , C01B 21/072 F , C01G 23/07 , H05H 1/46 B

引用特許：

審査官引用 (4件)

酸化物粒子分散型金属系複合材料の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-195855 出願人：工業技術院長
特開平1-188416
特開平3-214600

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