感光性ポリイミド前駆体組成物

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-043617
公開番号（公開出願番号）：特開平10-301281
出願日： 1998年02月25日
公開日（公表日）： 1998年11月13日
要約：

【要約】【課題】水銀灯のi線でもg線でも露光可能な感光性ポリイミド前駆体を提供する。【解決手段】(A)(a)酸2無水物の平均した電子親和力が1.40eV以上2.05eV以下である酸2無水物であり、かつ酸2無水物成分が3,3 ́,4,4 ́-ジフェニルスルホンテトラカルボン酸2無水物を酸2無水物成分全体の50モル%以下含有し、(b)アミノ基よりオルト位の位置に炭素数1から10までの有機基、フルオロ有機基、塩素原子、フッ素原子、臭素原子またはヨウ素原子を有する芳香族ジアミンを、ジアミン成分全体の20モル%以上70モル%以下含有し、かつ全ジアミン成分を平均したイオン化ポテンシャルが7.15eV以上7.45eV以下であるジアミン成分から構成され、さらに(c)前記全ジアミン成分を平均したイオン化ポテンシャルより酸2無水物の平均した電子親和力を引いた差が5.45eV以上5.85eV以下となるよう構成されたポリマーと、(B)増感剤を含有することを特徴とする感光性ポリイミド前駆体組成物。

請求項（抜粋）：

(A)(a)酸2無水物の平均した電子親和力が1.40eV以上2.05eV以下である酸2無水物であり、かつ酸2無水物成分が3,3 ́,4,4 ́-ジフェニルスルホンテトラカルボン酸2無水物を酸2無水物成分全体の50モル%以下含有し、(b)アミノ基よりオルト位の位置に炭素数1から10までの有機基、フルオロ有機基、塩素原子、フッ素原子、臭素原子またはヨウ素原子を有する芳香族ジアミンを、ジアミン成分全体の20モル%以上70モル%以下含有し、かつ全ジアミン成分を平均したイオン化ポテンシャルが7.15eV以上7.45eV以下であるジアミン成分から構成され、さらに(c)前記全ジアミン成分を平均したイオン化ポテンシャルより酸2無水物の平均した電子親和力を引いた差が5.45eV以上5.85eV以下となるよう構成された一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマーと、(B)増感剤を含有することを特徴とする感光性ポリイミド前駆体組成物。【化1】(式(1)中、R1は少なくとも2個以上の炭素原子を有する3価または4価の酸残基を示し、R2は次式(2)または(3)で表される構造を有するジアミン残基から選ばれた成分が少なくともR2成分全体の50モル%以上を占め、かつその他のR2成分は、結合手よりオルト位の位置に水素原子以外の置換基を含まない芳香族ジアミン残基か、あるいは少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価の脂肪族ジアミン残基を示し、R3は、-OR4、-NHR4、-O-N+R4R5R6R7から選ばれた基を示す。ただし、R4は少なくとも1種のエチレン性不飽和結合を有する基、R5、R6、R7はそれぞれ水素原子または炭素数1から10までの炭化水素基を表す。nは1または2である。)【化2】(式(2)および(3)においてR8,R9,R12はそれぞれ炭素数1から10までの有機基、フルオロ有機基、塩素原子、フッ素原子、臭素原子またはヨウ素原子を有する基を示し、R10,R11,R13,R14はそれぞれ水素原子、または炭素数1から10までの有機基、フルオロ有機基、塩素原子、フッ素原子、臭素原子またはヨウ素原子を有する基を示す。また、式(2)においてYは結合,-O-,-S-、-SO2-,-SO-,-CH2-、-CF2-,-CO-,-C(CH3)2-および-C(CF3)2-並びに次式(4)〜(8)で表される基から選ばれた結合基を示す。)【化3】

IPC (3件)：

G03F 7/038 504 , C08L 79/08 , H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/038 504 , C08L 79/08 A , H01L 21/30 502 R

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