圧電型加速度センサの製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-250405
公開番号（公開出願番号）：特開平5-060783
出願日： 1991年09月03日
公開日（公表日）： 1993年03月12日
要約：

【要約】【目的】圧電型加速度センサの耐衝撃性を向上する。【構成】圧電型加速度センサの膜状圧電体を製造する際に、圧電体フィルムの両面にプラズマエッチング処理を施した後に電極を接着一体化する。【効果】接着力が非常に高められ、耐衝撃性が飛躍的に向上する。特に、プラズマエッチング処理を使用するものなので、製造する際、連続的にインラインで製造でき、大量生産が容易あり、しかもドライプロセスであるから、薬品処理時のような後処理が不要で極めて生産効率が高いものである。

請求項（抜粋）：

被測定物に剛に取り付けられる台座と、この台座の感知軸に垂直な測定面に固定された感知部と、この感知部上に固着され、慣性質量部として作用する剛体からなる荷重体を有し、前記感知部は、圧電体フィルムの両面に電極を接着一体化した膜状圧電体と、この膜状圧電体の両面に固着された板状の剛体からなる2枚の支持板とからなり、かつ膜状圧電体の平面形状が前記測定面に平行な面において感知軸を対称の中心とする点対称であり、前記荷重体は、それの感知部に接する面の平面形状が感知軸を対称の中心とする点対称であり、かつ感知軸を通り前記測定面に垂直な無数の平面で断面した時、すべての断面について感知軸を対称軸とする線対称である圧電型加速度センサの製造方法において、前記膜状圧電体を製造する際に、圧電体フィルムの両面にプラズマエッチング処理を施してから電極を接着一体化することを特徴とする圧電型加速度センサの製造方法。

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