特許

J-GLOBAL ID：200903085462463830

テーブル移送装置及びその制御方法

発明者： 深沢 陽一 ,  飯泉 誠 ,  山本 浩一 ,  ▲高▼木 昭
出願人/特許権者： テイエチケー株式会社 ,  ソニー株式会社
代理人 (1件)： 世良 和信 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-208654
公開番号（公開出願番号）：特開平7-040163
出願日： 1993年07月30日
公開日（公表日）： 1995年02月10日
要約：

【要約】【目的】テーブルの左右両側のずれを修正可能なテーブル移送装置及びその制御方法を提供する。【構成】 直線案内部3を介して、基台2にテーブル4を移動自在に支持し、前記テーブル4と基台2の間に、テーブル4を基台2に対して駆動する駆動機構5,6を、テーブル4の左右に一対設け、この一対の駆動機構5,6を独立して駆動してテーブル4の左右の送り量に差を設けることにより、テーブル4の移動方向に対する左右の傾きを調整可能としたことを特徴とする。また、その制御は、テーブルの左右の位置を検出し、検出された位置情報に基づいてなされるが、位置決め完了後に行ってもよいし、移送途中に移送と同時に行ってもよい。

請求項（抜粋）：

直線案内部を介して、基台にテーブルを移動自在に支持し、前記テーブルと基台の間に、テーブルを基台に対して駆動する駆動機構を設けたテーブル移送装置において、前記駆動機構をテーブルの左右に一対設け、この一対の駆動機構を独立して駆動してテーブルの左右の送り量に差を設けることにより、テーブルの移動方向に対する左右の傾きを調整可能としたことを特徴とするテーブル移送装置。

IPC (2件)：

B23Q 1/60 ,  B23Q 15/26

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭61-236443
  
• 特開昭55-096243
  
• 特公昭61-011739