特許

J-GLOBAL ID：200903085469570704

ライトバルブ

発明者： 八木 隆行 ,  村上 智子 ,  井阪 和夫 ,  高木 博嗣
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-273184
公開番号（公開出願番号）：特開平6-123839
出願日： 1992年10月12日
公開日（公表日）： 1994年05月06日
要約：

【要約】【目的】 小型化でかつアレイ化が容易な機械式のライトバルブであり、光透過型であり、光量調節が可能であり、高速に光量を調節制御することが可能である。【構成】 Si基板には、基板の裏面からの入射光が透過する光透過部が穿設されている。Si基板の裏面より入射される入射光は、基板に設けた光透過部を通じて基板の表面に出る。一方、基板の上面には回転軸となる回転支持部が形成されており、回転支持部には円板状の移動部材としての回転部が回転可能に支持されている。回転部には入射光を透過可能な窓が穿設されており、光透過部を透過した入射光はこの窓を通って基板の上方に出る。回転部の周囲には、回転部と隙間を設けた固定電極が回転部の周りを囲むようにそれぞれ等間隔で固定されている。

請求項（抜粋）：

変位手段によって移動部材を変位させることにより、前記移動部材背面より入射される光量を調節して制御する小型のライトバルブにおいて、一部に光透過部が形成され、前記移動部材を変位可能に支持するとともに前記移動部材の端部と隙間を介するように複数の固定電極が固設された基板を有し、前記変位手段は、前記固定電極に電圧を印加して前記移動部材に誘導電荷を発生させ、前記移動部材を変位させることにより前記光透過部を通る光の量を調節することを特徴とするライトバルブ。