感光性樹脂組成物、感光性エレメント、これらを用いたレジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：長谷川芳樹 , 寺崎史朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-197024
公開番号（公開出願番号）：特開2007-102184
出願日： 2006年07月19日
公開日（公表日）： 2007年04月19日
要約：

【課題】350nm〜370nm及び400nm〜410nmのいずれの光に対しても高感度であり、良好な形状を有するレジストパターンを高解像度で形成することができるとともに、形成されたレジストパターンの剥離性が良好である感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性エレメントを提供すること。【解決手段】(A)バインダー、(B)エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物、(C)光重合開始剤及び(D)増感色素を含有する感光性樹脂組成物であって、感光性樹脂組成物は、(B)成分として、1つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物及び2つ以上の重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物を含有し、且つ、所定の感光性樹脂組成物層としたときに該感光性樹脂組成物層の365nm及び405nmの光に対する吸光度がそれぞれ0.1以上0.9以下の範囲内となることを特徴とする。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)バインダーポリマー、(B)少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物、(C)光重合開始剤及び(D)増感色素を含有する感光性樹脂組成物であって、前記感光性樹脂組成物は、前記(B)成分として、1つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物及び2つ以上の重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物を含有し、且つ、所定の感光性樹脂組成物層としたときに該感光性樹脂組成物層の365nm及び405nmの光に対する吸光度がそれぞれ0.1以上0.9以下の範囲内となることを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/029 , G03F 7/004 , G03F 7/031 , G03F 7/033 , H05K 3/06 , H05K 3/18 , H05K 3/00

FI (9件)：

G03F7/029 , G03F7/004 503Z , G03F7/031 , G03F7/033 , G03F7/004 512 , H05K3/06 H , H05K3/06 J , H05K3/18 D , H05K3/00 F

Fターム (54件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AA14 , 2H025AA16 , 2H025AB11 , 2H025AB15 , 2H025AC01 , 2H025AC08 , 2H025AD01 , 2H025BC13 , 2H025BC42 , 2H025CA14 , 2H025CA28 , 2H025CA41 , 2H025CC13 , 2H025DA01 , 2H025FA17 , 5E339AB02 , 5E339AD03 , 5E339BC02 , 5E339BD06 , 5E339BD11 , 5E339BE11 , 5E339CC01 , 5E339CC02 , 5E339CD01 , 5E339CE11 , 5E339CE14 , 5E339CE20 , 5E339CF01 , 5E339CF05 , 5E339CF16 , 5E339CF17 , 5E339CG04 , 5E339DD04 , 5E339GG02 , 5E343AA02 , 5E343AA12 , 5E343BB05 , 5E343BB24 , 5E343BB62 , 5E343BB67 , 5E343CC63 , 5E343DD43 , 5E343EE17 , 5E343ER16 , 5E343ER18 , 5E343ER22 , 5E343ER26 , 5E343FF07 , 5E343FF08 , 5E343FF16 , 5E343GG11

引用特許：

出願人引用 (1件)

ネガ型光画像形成性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-072207 出願人：モートンインターナショナル,インコーポレイティド

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