特許
J-GLOBAL ID：200903085475578571
薄膜トランジスタアレイ及びその検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
清水 守 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-080081
公開番号（公開出願番号）：特開平7-287249
出願日： 1994年04月19日
公開日（公表日）： 1995年10月31日
要約：
【要約】【目的】 TFTアレイ完成後に、簡易な導通検査により、層間短絡の検査が可能な、短絡用配線を有するTFTアレイ及びその検査方法を提供する。【構成】 互いに交差させて配置した複数のアドレス線と複数のデータ線の各交差部に薄膜トランジスタを設け、該薄膜トランジスタに接続される補助容量線を有する表示領域を有し、該表示領域の外側に静電気保護素子を介して、第1の短絡用配線が配置される薄膜トランジスタアレイにおいて、第1の短絡用配線30の外側に配置されるデータ線12の短絡用配線32と、第1の短絡用配線30の外側に配置されるアドレス線11の短絡用配線31と、このアドレス線11の短絡用配線31と同じ金属層で接続される補助容量線13の短絡用配線31とを備え、前記データ線12の短絡用配線32と、アドレス線11の短絡用配線31及び補助容量線13の短絡用配線31との分離部分に静電気保護手段40としての放電針とを設ける。
請求項（抜粋）：
互いに交差させて配置した複数のアドレス線と複数のデータ線の各交差部に薄膜トランジスタを設け、該薄膜トランジスタに接続される補助容量線を有する表示領域を有し、該表示領域の外側に静電気保護素子を介して、第1の短絡用配線が配置される薄膜トランジスタアレイにおいて、(a)前記第1の短絡用配線の外側に配置されるデータ線の短絡用配線と、(b)前記第1の短絡用配線の外側に配置されるアドレス線の短絡用配線と、(c)該アドレス線の短絡用配線と同じ金属層で接続される補助容量線の短絡用配線とを備え、(d)前記データ線の短絡用配線と、前記アドレス線の短絡用配線及び補助容量線の短絡用配線との分離部分に静電気保護手段を設けることを特徴とする薄膜トランジスタアレイ。
IPC (4件)：
G02F 1/136 500
, G02F 1/1343
, H01L 21/66
, H01L 29/786
