特許

J-GLOBAL ID：200903085475627890

露光装置

発明者： 萩原 茂
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-259260
公開番号（公開出願番号）：特開平9-082624
出願日： 1995年09月12日
公開日（公表日）： 1997年03月28日
要約：

【要約】【課題】 化学増幅型レジストの表面難溶化層の発生や光学材料の曇りによる照度低下等の弊害の発生を効果的に抑制する。【解決手段】 空調部1の一部を成すクーラー7での結露水中の不純物を除去する耐水性ケミカルフィルタ15が、ドレインパン15上に空調部1内とドレインパン4及び排水管5等から成る排水路内とを区画する状態で配置されていることから、ケミカルフィルタ15により結露水中の不純物が除去されると共に外部から排水路を介して進入した不純物ガスが吸着されて本体内に入るのが防止され、これによりドレインパン4に不純物が溜まるのが効果的に防止される。また、ケミカルフィルタ15の構成を工夫して圧力損失をある程度大きく設定すると、それ自身がトラップとなって、排水管5からの汚染空気の逆流が阻止される。

請求項（抜粋）：

露光本体部が収納され、空気の清浄度、温度、圧力、湿度等の環境条件がほぼ一定に維持される本体チャンバを含む本体部と、前記本体チャンバ内の空調を行なう空調部とを備えた露光装置において、前記空調部の一部を成す冷却部での結露水中の不純物を除去する耐水性ケミカルフィルタが、前記空調部と装置の外部とを連通する排水路の前記空調部側端部に前記空調部内と排水路内とを区画する状態で配置されていることを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/02

FI (5件)：

H01L 21/30 516 E ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/02 D ,  H01L 21/30 502 R ,  H01L 21/30 503 Z