特許
J-GLOBAL ID:200903085481388822
レーザ電源装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
佐々木 聖孝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-223387
公開番号(公開出願番号):特開平6-053579
出願日: 1992年07月30日
公開日(公表日): 1994年02月25日
要約:
【要約】[目的]ランプ電流を精細に波形制御しかつ所望のピーク値を得る。[構成]第1のレーザ電源回路20では、スイッチング制御部36によりスイッチング・トランジスタ26をPWM制御でスイッチング動作させ、所望の波形に制御された第1のランプ電流I1 を生成する。第2のレーザ電源回路50では、充電用トランジスタ54および充電制御部66によってコンデンサ58を予め設定された任意の充電電圧まで充電し、放電用トランジスタ60および放電制御部70によってコンデンサ58を予め設定された任意のタイミングで瞬時に放電させ、所望のピーク値に制御された第2のランプ電流I2 を生成する。主制御部80は第1および第2のレーザ電源回路20,50のそれぞれの動作を制御ないし統括する。
請求項(抜粋):
レーザ媒体に対してレーザ発振用の光エネルギを照射する励起ランプにランプ電流を供給するレーザ電源装置において、スイッチング素子のスイッチング動作によって所望の波形に制御された第1のランプ電流を前記励起ランプに供給する第1のレーザ電源回路と、コンデンサを所望の充電電圧まで充電した後に前記コンデンサを放電させてその放電電流を第2のランプ電流として前記励起ランプに供給する第2のレーザ電源回路と、前記第1および第2のランプ電流を所望のタイミングで組み合わせて前記励起ランプに供給するよう前記第1および第2のレーザ電源回路を制御する制御手段と、を具備したことを特徴とするレーザ電源装置。
引用特許:
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