特許
J-GLOBAL ID:200903085482397345

電界放射冷陰極及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-130313
公開番号(公開出願番号):特開2002-289089
出願日: 2001年03月26日
公開日(公表日): 2002年10月04日
要約:
【要約】【課題】 電界放射型素子に関し、その冷陰極および製造方法を提供することを課題とする。【解決手段】 チタン(Ti)を主体とする電界放射型素子FEDの電界放射冷陰極電子源に酸化硼素(B2O3)または硼素(B)と白金(Pt)チタン(Ti)からなる表面層を形成する冷陰極装置および製造方法。
請求項(抜粋):
絶縁性基板とこの絶縁性基板上に形成された陰極と、この陰極上に形成された電子放出層と、絶縁物を介して前記電子放出層の上部に、開口部が複数個形成された金属薄板からなるゲート電極とを備えた電子放射冷陰極において、この絶縁性基板上に形成された陰極が、チタンで構成され、チタン基体の該表面層上に、チタン、白金、酸化硼素から構成される金属・非金属複合材料からなることを特徴とする電界放射冷陰極。
IPC (3件):
H01J 1/304 ,  H01J 9/02 ,  H01J 29/04
FI (3件):
H01J 9/02 B ,  H01J 29/04 ,  H01J 1/30 F
Fターム (1件):
5C031DD17

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