特許

J-GLOBAL ID：200903085495241310

薄膜トランジスタ及びその製造方法

発明者： 国井 正文
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-388386
公開番号（公開出願番号）：特開2003-188387
出願日： 2001年12月20日
公開日（公表日）： 2003年07月04日
要約：

【要約】【課題】 微細化とディスプレイデバイスの画質向上、高速駆動化、及び低消費電力化とを両立する高性能な薄膜トランジスタ及びその製造方法を提供する。【解決手段】 半導体薄膜と、酸化膜と、ゲート電極とを含む積層構造を有する薄膜トランジスタの製造方法であって、絶縁性の基板に多結晶シリコンからなる半導体薄膜を形成する半導体薄膜形成工程と、上記半導体薄膜に対して酸素原子を含有する気体の加圧雰囲気下で熱処理を行うことにより当該半導体薄膜上に酸化膜を形成する酸化膜形成工程と、上記酸化膜を形成した上記半導体薄膜に対して酸素原子を含有する気体の加圧雰囲気下で熱処理を行うことにより当該半導体薄膜を局所酸化する局所酸化工程とを備える。

請求項（抜粋）：

半導体薄膜と、酸化膜と、ゲート電極とを含む積層構造を有する薄膜トランジスタの製造方法であって、絶縁性の基板に多結晶シリコンからなる半導体薄膜を形成する半導体薄膜形成工程と、上記半導体薄膜に対して酸素原子を含有する気体の加圧雰囲気下で熱処理を行うことにより当該半導体薄膜上に酸化膜を形成する酸化膜形成工程と、上記酸化膜を形成した上記半導体薄膜に対して酸素原子を含有する気体の加圧雰囲気下で熱処理を行うことにより当該半導体薄膜を局所酸化する局所酸化工程とを備えることを特徴とする薄膜トランジスタの製造方法。

IPC (7件)：

H01L 29/786 ,  G02F 1/1368 ,  H01L 21/20 ,  H01L 21/316 ,  H01L 21/324 ,  H01L 21/76 ,  H01L 27/08 331

FI (7件)：

G02F 1/1368 ,  H01L 21/20 ,  H01L 21/324 G ,  H01L 27/08 331 E ,  H01L 29/78 621 ,  H01L 21/94 A ,  H01L 21/76 M

Fターム (106件)：

2H092JA26 ,  2H092JA34 ,  2H092JA46 ,  2H092JB57 ,  2H092JB58 ,  2H092KA04 ,  2H092MA08 ,  2H092MA17 ,  2H092MA25 ,  2H092MA27 ,  2H092MA30 ,  2H092NA05 ,  2H092NA26 ,  4M108AA15 ,  4M108AA20 ,  4M108AB04 ,  4M108AB10 ,  4M108AB13 ,  4M108AB14 ,  4M108AC01 ,  4M108AC12 ,  4M108AC13 ,  4M108AC16 ,  4M108AC21 ,  4M108AC54 ,  4M108AD13 ,  4M108AD16 ,  5F032AA09 ,  5F032AA13 ,  5F032BB01 ,  5F032CA17 ,  5F032DA03 ,  5F032DA04 ,  5F032DA53 ,  5F032DA74 ,  5F048AA04 ,  5F048AA07 ,  5F048AC04 ,  5F048BA16 ,  5F048BB05 ,  5F048BB09 ,  5F048BC06 ,  5F048BC16 ,  5F048BG01 ,  5F048BG12 ,  5F048BG14 ,  5F052AA02 ,  5F052BB07 ,  5F052DA02 ,  5F052DB02 ,  5F052DB03 ,  5F052EA15 ,  5F052JA01 ,  5F110AA01 ,  5F110AA09 ,  5F110AA17 ,  5F110AA28 ,  5F110BB02 ,  5F110BB04 ,  5F110CC02 ,  5F110CC08 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD07 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD17 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE06 ,  5F110EE09 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF09 ,  5F110FF23 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110GG25 ,  5F110GG32 ,  5F110GG45 ,  5F110GG47 ,  5F110GG52 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ04 ,  5F110HJ12 ,  5F110HJ23 ,  5F110HL06 ,  5F110HL23 ,  5F110HM15 ,  5F110NN04 ,  5F110NN13 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN27 ,  5F110NN35 ,  5F110NN66 ,  5F110NN72 ,  5F110PP02 ,  5F110PP03 ,  5F110PP04 ,  5F110PP35 ,  5F110QQ09 ,  5F110QQ16 ,  5F110QQ23 ,  5F110QQ30