基板電位発生回路

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：内原晋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-196361
公開番号（公開出願番号）：特開平5-108175
出願日： 1991年08月06日
公開日（公表日）： 1993年04月30日
要約：

【要約】【目的】基板電位を最適な電位状態にし、ムダ電流を避けることの出来る基板電位発生回路を提供する。【構成】基板電位を検知する基板電位検知回路1を設け、これにより検知された基板電位の高低により、発振周波数が高低に変化する可変周波発振器2を設け、この発振出力を受けて、基板電位を制御する基板電位発生部3を設ける。【効果】基板電位をモニタし、基板発生回路を動作させる為、基板電位を最適な状態にし、ムダ電流を避ける。

請求項（抜粋）：

基板電位を検知する基板電位検知回路と、前記基板電位検知回路により検知された基板電位の高低により発振周波数が高低に変化する可変周波発振器と、前記可変周波発振器の発振出力を受けて基板電位を制御する基板電位発生部とを備えることを特徴とする基板電位発生回路。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平3-007059
特開昭64-039263
特開昭55-074376

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