エツチング方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三好秀和 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-261948
公開番号（公開出願番号）：特開平5-102122
出願日： 1991年10月09日
公開日（公表日）： 1993年04月23日
要約：

【要約】【目的】本発明は、安定して高精度の微細加工を行うことを目的とする。【構成】本発明のエッチング装置では、処理液中に亜硝酸イオンまたは亜硝酸イオンを生成する薬剤を添加しつつエッチングを行うようにしている。

請求項（抜粋）：

弗酸と硝酸を主成分とする混酸を処理液として用いて、洗浄やエッチングなどの湿式処理を行うエッチング方法において、前記処理液中に亜硝酸イオンまたは亜硝酸イオンを生成する薬剤を添加しつつエッチングを行うことを特徴とするエッチング方法。

引用特許：

審査官引用 (2件)

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