特許
J-GLOBAL ID:200903085509021857

発光装置及び半導体装置の作製方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-263583
公開番号(公開出願番号):特開2003-186421
出願日: 2002年09月10日
公開日(公表日): 2003年07月04日
要約:
【要約】【課題】 TFTの特性を向上させ、且つ、各TFTの特性バラツキを低減することを課題としている。特に画素において、EL素子と電気的に接続され、且つ、EL素子に電流を供給するTFTのバラツキを低減することを課題とする。【解決手段】 画素に配置される複数の薄膜トランジスタの活性層となる半導体層109、110の配置方向を同一方向に配置し、該チャネル長方向と同一方向に走査するレーザー光の照射を行い、結晶の成長方向とキャリアの移動方向とを揃えて高い電界効果移動度を得る。また、駆動回路、CPUに配置される複数の薄膜トランジスタの活性層となる半導体層の配置方向を同一方向に配置し、該チャネル長方向と同一方向に走査するレーザー光の照射を行う。
請求項(抜粋):
絶縁表面上に設けられた画素部に複数の薄膜トランジスタと、発光素子とを有する発光装置であって、前記画素部には、有機化合物を含む層を発光層とする発光素子の陽極または陰極である画素電極に接続されている第1の薄膜トランジスタと、第2の薄膜トランジスタとが設けられ、前記第1の薄膜トランジスタのチャネル長方向と、前記第2の薄膜トランジスタのチャネル長方向が同一方向であることを特徴とする発光装置。
IPC (7件):
G09F 9/30 338 ,  G09F 9/30 365 ,  H01L 21/20 ,  H01L 21/268 ,  H01L 21/336 ,  H01L 29/786 ,  H05B 33/14
FI (8件):
G09F 9/30 338 ,  G09F 9/30 365 Z ,  H01L 21/20 ,  H01L 21/268 F ,  H05B 33/14 A ,  H01L 29/78 618 Z ,  H01L 29/78 612 B ,  H01L 29/78 627 G
Fターム (139件):
3K007AB05 ,  3K007AB11 ,  3K007AB17 ,  3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007BB07 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  3K007GA04 ,  5C094AA07 ,  5C094AA13 ,  5C094AA22 ,  5C094AA25 ,  5C094AA31 ,  5C094AA43 ,  5C094AA53 ,  5C094BA03 ,  5C094BA27 ,  5C094CA19 ,  5C094DA09 ,  5C094DA13 ,  5C094DB01 ,  5C094DB04 ,  5C094EA04 ,  5C094FA01 ,  5C094FA02 ,  5C094FB01 ,  5C094FB12 ,  5C094FB14 ,  5C094FB15 ,  5C094FB20 ,  5C094GB10 ,  5F052AA02 ,  5F052BA01 ,  5F052BA02 ,  5F052BA04 ,  5F052BA07 ,  5F052BA18 ,  5F052BB01 ,  5F052BB02 ,  5F052BB03 ,  5F052BB04 ,  5F052BB05 ,  5F052BB07 ,  5F052CA04 ,  5F052CA08 ,  5F052DA01 ,  5F052DA02 ,  5F052DA03 ,  5F052DB02 ,  5F052DB03 ,  5F052DB07 ,  5F052EA15 ,  5F052EA16 ,  5F052FA06 ,  5F052JA01 ,  5F110AA01 ,  5F110AA05 ,  5F110BB02 ,  5F110BB03 ,  5F110BB04 ,  5F110BB06 ,  5F110BB07 ,  5F110BB08 ,  5F110CC02 ,  5F110CC08 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD03 ,  5F110DD05 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD15 ,  5F110DD17 ,  5F110DD25 ,  5F110EE01 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE05 ,  5F110EE14 ,  5F110EE15 ,  5F110EE23 ,  5F110EE28 ,  5F110EE30 ,  5F110EE37 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF04 ,  5F110FF09 ,  5F110FF28 ,  5F110FF30 ,  5F110FF35 ,  5F110GG01 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110GG28 ,  5F110GG29 ,  5F110GG43 ,  5F110GG45 ,  5F110GG47 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ04 ,  5F110HJ12 ,  5F110HJ13 ,  5F110HJ23 ,  5F110HL03 ,  5F110HL04 ,  5F110HL07 ,  5F110HL11 ,  5F110HM15 ,  5F110NN04 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN25 ,  5F110NN27 ,  5F110NN35 ,  5F110NN36 ,  5F110NN42 ,  5F110NN44 ,  5F110NN45 ,  5F110NN46 ,  5F110NN47 ,  5F110NN48 ,  5F110PP01 ,  5F110PP03 ,  5F110PP04 ,  5F110PP05 ,  5F110PP06 ,  5F110PP13 ,  5F110PP24 ,  5F110PP29 ,  5F110PP34 ,  5F110PP35 ,  5F110QQ09 ,  5F110QQ11 ,  5F110QQ19 ,  5F110QQ23
引用特許:
審査官引用 (2件)

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