特許

J-GLOBAL ID：200903085520862464

静電チャック

発明者： 辰己 良昭 ,  宮田 征一郎
出願人/特許権者： 株式会社創造科学 ,  有限会社宮田技研
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-118907
公開番号（公開出願番号）：特開平8-279550
出願日： 1995年04月07日
公開日（公表日）： 1996年10月22日
要約：

【要約】【目的】 誘電体セラミック面の冷却特性に優れ併せてプラズマ放電の電極面周囲への回り込みを防止できる静電チャックの構造に関わる。【構成】 誘電体セラミックの板と電気絶縁性の台座の間に電極金属層が挟まれて接合一体化された構造であって、該電極金属の層は電極形状に配されたロー材からなり、該誘電体セラミックの板と電気絶縁性の台座に融着してなることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

誘電体セラミックの板と電気絶縁性の台座の間に電極金属層が挟まれて接合一体化された構造であって、該電極金属の層は電極形状に配されたロー材からなり、該誘電体セラミックの板と電気絶縁性の台座に融着してなることを特徴とする静電チャック。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B23K 1/00 330 ,  H01L 21/205 ,  B23Q 3/15

FI (4件)：

H01L 21/68 R ,  B23K 1/00 330 Z ,  H01L 21/205 ,  B23Q 3/15 D