特許

J-GLOBAL ID：200903085522314537

傾斜平坦面の傾斜角測定装置と同装置を備えたレーザマーカ及びマーク読み取り装置

発明者： 佐藤 悦郎
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 野口 武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-238903
公開番号（公開出願番号）：特開2001-059716
出願日： 1999年08月25日
公開日（公表日）： 2001年03月06日
要約：

【要約】【課題】簡易な構成をもって正確に測定し得る、特に微小領域における傾斜平坦面の傾斜角を測定するに好適な傾斜角測定装置と同装置を備えたレーザマーカ及びドットマークの読み取り装置を提供する。【解決手段】投光器(103) 或いは受光器(104) の一方を不動として固定し、他方をその照射領域を変えることなく入射角 (γ) を変更すると、受光器により受光する光量が変動する。この光量変化の原理を利用して、演算手段を介して基準面に対する被測定面(12b) の傾斜角度 (θ) を測定する。本発明によれば、前記入射角 (γ) の相対的な変更手段としては、前述のごとく投光器(103) 或いは受光器(104) の一方を不動とし、他方を照射面を変えることなく変更することにより行われる場合と、投光器(103) および受光器(104) の配設位置を不動として、照射面を変更することなく被測定面(12b) を移動させることにより行われる場合とがある。

請求項（抜粋）：

被測定面である傾斜平坦面を照射する投光器とその反射光を受光する受光器を有する光学系と、被測定面に対する前記投光器の光軸の入射角を相対的に変更する入射角変更手段と、前記入射角の変更時における前記受光器の最大受光時の前記入射角を検出する入射角検出手段と、前記入射角検出手段により検出された最大受光時の前記入射角から傾斜平坦面の傾斜角を演算する演算手段と、を備えてなることを特徴とする傾斜平坦面の傾斜角測定装置。

IPC (2件)：

G01B 11/26 ,  H01L 21/02

FI (2件)：

G01B 11/26 Z ,  H01L 21/02 A

Fターム (29件)：

2F065AA06 ,  2F065AA35 ,  2F065AA52 ,  2F065BB02 ,  2F065BB29 ,  2F065CC19 ,  2F065DD09 ,  2F065FF01 ,  2F065FF09 ,  2F065FF42 ,  2F065GG04 ,  2F065GG12 ,  2F065HH06 ,  2F065HH18 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065KK02 ,  2F065LL08 ,  2F065LL10 ,  2F065LL28 ,  2F065LL51 ,  2F065MM04 ,  2F065PP22 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ31 ,  2F065TT02 ,  2F065UU04 ,  2F065UU07