特許
J-GLOBAL ID:200903085532004617

ニュートラルノイズを減少させる電気噴霧イオン源及び方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 中村 稔 (外6名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-124009
公開番号(公開出願番号):特開平6-215727
出願日: 1992年05月18日
公開日(公表日): 1994年08月05日
要約:
【要約】【目的】 ニュートラルノイズを減少させた電気噴霧イオン源の提供。【構成】 イオンをイオン化領域から分析領域へと導く細管チューブを備えた電気噴霧イオン源であり、分析領域はスキマーを備え、このスキマーにおいて細管チューブは、脱溶媒されていない小滴がスキマーに衝突するよう方向付けされる。
請求項(抜粋):
イオン化チャンバ及び隣接する低圧領域を含み、前記低圧領域は、オリフィスを含むスキマー、前記イオン化チャンバと低圧領域との間を連絡し前記イオン化チャンバ内のイオン及びガスを前記低圧領域へと流出させるような軸上の内腔を有する細管チューブ及び、細管チューブの軸をスキマーオリフィスから離れるように方向付け前記内腔を流出する小滴及び/又は粒子がスキマーを通過することができないようなものとしその一方イオンを前記低圧チャンバへと送り込む手段を備えることを特徴とするイオン源。
IPC (3件):
H01J 49/10 ,  G01N 27/62 ,  B05B 5/057

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