データ処理装置および方法、情報記憶媒体

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林忠 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-128768
公開番号（公開出願番号）：特開平11-328408
出願日： 1998年05月12日
公開日（公表日）： 1999年11月30日
要約：

【要約】【課題】任意の角度で撮像された半導体ウェハなどの画像データの傾斜を検出する。【解決手段】画像データをエッジ処理してから二値化し、この画像データをハフ変換処理してパラメータ図表を生成し、このパラメータ図表からハフ曲線の重複が多数の座標を抽出してグループ化し、このグループごとに代表の座標を選出して画像データの傾斜を推定することで、画像データから直線成分を認識して傾斜を推定する。

請求項（抜粋）：

多値の濃度がデジタルで個々に設定された多数の画素からなる画像データが外部入力される画像入力手段と、該画像入力手段に外部入力された画像データをエッジ処理してエッジ部分の画素の濃度を強調するエッジ処理手段と、該エッジ処理手段によりエッジ処理された画像データの各画素の濃度を適正な閾値と比較して二値化する二値化処理手段と、該二値化処理手段により二値化された画像データをハフ変換処理してパラメータ空間に多数のハフ曲線が描画されたパラメータ図表を生成するハフ変換手段と、該ハフ変換手段により生成されたパラメータ図表からハフ曲線の重複が多数の座標を適正な閾値との比較により抽出する座標抽出手段と、該座標抽出手段により抽出されたパラメータ図表の座標を位置の近接に対応してグループ化するラベリング手段と、該ラベリング手段により生成されたグループごとに代表の座標を選出する代表選出手段と、該代表選出手段により選出された座標から画像データの傾斜を推定する傾斜検出手段と、を具備しているデータ処理装置。

IPC (4件)：

G06T 7/00 , G01B 11/26 , G06T 9/20 , G06T 3/60

FI (5件)：

G06F 15/62 400 , G01B 11/26 H , G06F 15/70 330 F , G06F 15/70 335 Z , G06F 15/66 350 Z

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