特許
J-GLOBAL ID：200903085535459542
レーザ走査式高さ測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 茂信
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-277942
公開番号（公開出願番号）：特開平7-128025
出願日： 1993年11月08日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：
【要約】【目的】 共焦点レーザ走査式顕微鏡を用いた高さ測定装置において、高さ方向の測定精度を向上させることである。【構成】 レーザ発振器10と、試料物体をレーザスポットで走査するためのレーザビーム偏向部15〜20と、走査レーザビームを試料物体の対象面23に集光・照射する対物レンズ22と、対象面23からの反射光を2光路に分割する光学系24と、各々の光路における反射光の結像位置付近に配置した光学的に大きさの異なる2つの開口26,29と、各開口26,29を通過した反射光をそれぞれ検出する光検出器27,30と、光検出器27,30の出力信号から試料物体の高さを算出する処理部とを備える。
請求項（抜粋）：
光源であるレーザ発振器と、試料物体をレーザスポットで走査するためのレーザビーム偏向部と、走査レーザビームを試料物体に集光照射する対物レンズと、試料物体からの反射光を2光路に分割する光学系と、分割された各々の光路における反射光の結像位置付近に配置した光学的に大きさの異なる2つの開口と、各開口を通過した反射光をそれぞれ検出する光検出器と、この光検出器の出力信号から試料物体の高さを算出する処理部とを備えることを特徴とするレーザ走査式高さ測定装置。
IPC (2件)：
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