固体撮像装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-042710
公開番号（公開出願番号）：特開平5-243537
出願日： 1992年02月28日
公開日（公表日）： 1993年09月21日
要約：

【要約】【目的】固体撮像装置の隣接するパルス伝送線の短絡をなくし、かつ、斜め入射光によるスミアを防止する。【構成】第1,第2の転送電極4-1a,4-2aの側壁部を平坦化層を介さずに段差部におけるカバレッジの良い高融点金属膜から成る第1の遮光膜5aによって遮光する。さらに、第2の層間絶縁膜9-2aを介して転送電極上部を第2の遮光膜6aを兼ねたパルス伝送線によって遮光する。

請求項（抜粋）：

受光素子を列状に配置した光電変換列および前記受光素子から電荷をそれぞれ受取り列方向に転送する,交互に配置された第1の転送電極と第2の転送電極の対を含む垂直レジスタからなる画素列を複素個並列に配置し、前記第1の転送電極および第2の転送電極を行方向にそれぞれ連結してなる撮像部を有する固体撮像装置において、前記第1の転送電極および第2の転送電極の少なくとも側壁を第1の層間絶縁膜を介して被覆する第1の遮光膜と、前記第1の転送電極および第2の転送電極の上部を第2の層間絶縁膜を介して被覆し、列毎に前記第1の転送電極または第2の転送電極のいずれか一方と択一的に接続される第2の遮光膜を兼ねるパルス伝送線とを有することを特徴とする固体撮像装置。

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