特許
J-GLOBAL ID：200903085551394981
電界放射冷陰極の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-270001
公開番号（公開出願番号）：特開平11-111162
出願日： 1997年10月02日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：
【要約】【課題】 簡便な方法によりエミッタ電極先端への粘着剤残渣を無くし、エミッタ特性の低下を抑制した電界放出冷陰極の製造方法を提供する。【解決手段】 1枚のウエハ上に複数形成された電界放射冷陰極の表面に粘着剤つき保護シートを貼り付け、ダイシングにより個々の素子に分割する工程を含む電界放射冷陰極の製造方法において、前記保護シートを保護シート用フレームに固定し、固定された状態のまま保護シートの粘着剤層の前記電界放射冷陰極の各エミッタ領域に相当する部分に粘着剤の流動防止手段を設ける、貼り付け時の各エミッタ領域に相当する部分における加圧力を低減する、あるいは粘着剤層中に微小球を添加する。
請求項（抜粋）：
1枚のウエハ上に複数形成された電界放射冷陰極の表面に粘着剤つき保護シートを貼り付け、ダイシングにより個々の素子に分割する工程を含む電界放射冷陰極の製造方法において、前記保護シートを保護シート用フレームに固定し、固定された状態のまま保護シートの粘着剤層の前記電界放射冷陰極の各エミッタ領域に相当する部分に粘着剤の流動防止手段を設けたことを特徴とする電界放射冷陰極の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 9/02 B
, H01L 21/78 M
